專利名稱：一種硒化鎢薄膜的制備方法

專利類型：國家發(fā)明專利

申請人：中南大學(xué)

發(fā)明人：李棟、徐潤澤、郭學(xué)益、田慶華

專利號：CN201710801157.8

授權(quán)公告日：2019.04.19

摘要：本發(fā)明公開了一種硒化鎢薄膜的制備方法，包括以下步驟：S1、將陰極片的表面清洗干凈，并烘干；S2、配置含硒和鎢酸性溶液，并對所得含硒和鎢的酸性溶液進(jìn)行除氧；S3、以步驟S2所得含硒和鎢的酸性溶液作為電化學(xué)沉積液，以步驟S1所得陰極片作為對電極，以飽和甘汞為參比電極，以鉑片作為工作電極，進(jìn)行電化學(xué)沉積，在陰極片上沉積形成硒化鎢薄膜，其中沉積電壓為0.3V～0.7V，沉積溫度為25℃～80℃，沉積時間為1min～20min；S4、電化學(xué)沉積結(jié)束后，取出硒化鎢薄膜，并進(jìn)行清洗和烘干，即得。該方法所得產(chǎn)品為形貌、厚度可控、顆粒狀聚集、分布均勻、排列緊密的硒化鎢薄膜。